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如何掌控真空鍍膜的均勻性

作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2268
如(rú)何掌控真空鍍膜的均(jun1)勻性
我(wǒ)們先來認識(shí)下怎麽(me)調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使(shǐ)用鍍(dù)膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測(cè)試設備(bèi)的(de)抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性(xìng)能;
2、測試設備的(de)密封性能,就是抽到極(jí)限後保壓1小時看壓降是否達標(biāo),同時排除(chú)細小(xiǎo)的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能(néng),比如傳動、加(jiā)熱、絕緣(yuán)等等(děng);
4、如果有(yǒu)工藝保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應(yīng)作記錄(lù),並有(yǒu)記錄人簽字以及有使用部門或工程部門(mén)的人確認簽(qiān)字

怎麽掌控真空鍍(dù)膜的均勻(yún)性?
由(yóu)於車燈鍍膜機原理的不同分為很多種類(lèi),僅僅因為都(dōu)需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不(bú)同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均勻性(xìng)這個概念本身也會隨(suí)著鍍膜尺(chǐ)度和薄膜成分(fèn)而有(yǒu)著不同的(de)意義,下麵分別說一下:

均勻性主要體(tǐ)現在3方麵:

1、厚度上的均(jun1)勻性,也可以理解為(wéi)粗糙度,在光學薄膜的(de)尺度上看(也就是1/10波長作為單位(wèi),約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度(dù)控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空(kōng)鍍膜沒有任(rèn)何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度(dù),也就是(shì)說要實現(xiàn)10A甚至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含(hán)量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的(de)均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很(hěn)容易的產生不(bú)均勻特(tè)性(xìng),SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可(kě)能是其(qí)他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的(de)技術含量所(suǒ)在。
3、晶格有序度的均勻性:這(zhè)決定了薄膜是(shì)單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。 
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