SF係列電子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24481
SF係列(liè)電子束(shù)蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機

工作原理(lǐ)

電子束(shù)蒸發是(shì)將膜材放(fàng)入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原(yuán)子或(huò)分子從表麵汽化逸出後入射到基片(piàn)表(biǎo)麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率(lǜ)高、束流密度大、蒸發速度快,製(zhì)成的薄膜純度高(gāo)。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通(tōng)、長波通、增(zēng)透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶(dài)通膜(mó)、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿(mǎn)足如汽車反光玻璃、、眼鏡片(piàn)、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍(dù)膜要求。配置不(bú)同的蒸發源、電子槍和離子源及膜(mó)厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物(wù)及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚(hòu)儀,采用PLC與觸摸屏(píng)係統聯合實現對整個(gè)工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重(chóng)複性一致性優良.
2)適(shì)用於(yú)光學領域(yù)行業,大規模工業生產要(yào)求的廠商使用。

技術參(cān)數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺(chǐ)寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵(bèng)機(jī)組KT500擴散泵機組KT630擴散泵(bèng)機組(zǔ)雙KT630擴散(sàn)泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍(huò)爾離子源
充氣(qì)係統(tǒng)壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜(mó)厚監(jiān)控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率(lǜ)5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備(bèi)參數(shù)僅(jǐn)做參考,具(jù)體均(jun1)按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂做
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