工作(zuò)原理
WJZ係(xì)列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍(dù)膜機的原理是在(zài)真空室中將(jiāng)金屬材(cái)料(鋁(lǚ)、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後的金屬分子產生飛逸沉積於基材的表麵上形成鋁、錫等純金屬薄膜層,出爐後將膜層從特別(bié)的基材表麵可輕輕(qīng)剝落,形成無介(jiè)質獨立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性(xìng)、能(néng)夠隔離氣體(tǐ)和光(guāng)線的(de)薄膜。
應用範圍
產品特點
技(jì)術參數表
WJZ係列無介質獨立膜(mó)電阻蒸發(fā)真空鍍膜(mó)機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 電阻蒸發源+圓(yuán)柱磁控多弧(可(kě)選配) | ||||||
鍍膜輔助係統(tǒng) | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣(qì)係統 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量(liàng)流(liú)量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動(dòng) | ||||||
抽(chōu)氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限(xiàn)真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶實(shí)際工藝要求設計訂(dìng)做 |