分(fèn)析現有光學真空鍍膜機比較片機構在使用過程中存在的問題。根據現代光學(xué)真空鍍膜機(jī)的發展趨勢和實際生產中(zhōng)急需解(jiě)決的問題,通過多方麵的研究分析,優化設計新一代的鍍膜機比(bǐ)較片結構,解決影響光學薄膜(mó)質(zhì)量和超多層精密光學(xué)薄膜鍍製的問題,以提高(gāo)薄(báo)膜的監控(kòng)精度,實現係統的自動控製,提高光學真空鍍膜機生產效率,降低生產成(chéng)本。使現代光學真空鍍膜機的結構配置及(jí)使用效果(guǒ)達(dá)到最佳。
從(cóng)上世紀八(bā)十年代以來,全球光電科學技術發展與進步迅猛,我國研發光(guāng)學真(zhēn)空鍍膜機設備,在引進消化吸收的基礎(chǔ)上,也迅速發展起來(lái)。最近二十(shí)多年,我國逐漸成為(wéi)全球光學(xué)產(chǎn)品(pǐn)的加工基地,作為光學產品的關鍵(jiàn)工序,也是最後一道工序-- 鍍膜,要求越來越高,真空鍍膜機性能和配置(zhì)也必然要得到加強(qiáng),提高設(shè)備質量、完(wán)善設(shè)備性能、提(tí)高生產效率等問題就顯現出來,這就(jiù)涉及到此類設備的改造、設計(jì)研發,要求相關技術人員去解決。
真空鍍膜機(jī)比較片機構就是該類設備的必不可少的關鍵部件,高端配置的設備對比(bǐ)較片機構(gòu)要求越來越(yuè)高,它對鍍製多膜層(céng)的檢測和生產效率有著重要的不可替(tì)代(dài)的作用。
現有真空鍍膜機比較片機構 國內低端的真空鍍膜機,從發展之初到近10年左右,大多還沿用的該比(bǐ)較片結構,如圖1 所示。此比較片換位機構,通常由6 個獨立的直(zhí)徑Φ22mm 的比較片組(zǔ)成。該機構(gòu)主要由1 個托盤16、三(sān)個支(zhī)撐杆110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐杆110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪齧合把運動輸入使之旋轉撥片,三者配合就完成撥(bō)片換位動作。由於(yú)一般的鍍膜機真空室直徑尺寸都不大(dà),整個機構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致(zhì)工件盤上可(kě)裝載的鍍製工件麵積比較小,並且該機構隻可放置6 個比較片13,直(zhí)接影響生產效率。
該結構的特點是:結構簡(jiǎn)單,加工製造方便,安裝實施方便易(yì)行。缺點:該結構直徑麵積比較大,影響裝載工件的(de)數量;比價片(piàn)放置數量少,降低了生產效率;強度和剛度有限,又(yòu)由於該結(jié)構(gòu)完全暴露在真空室內(nèi),真空室內高溫濺射磨料的影響,使轉(zhuǎn)動平穩性(xìng)、靈活性一般,傳(chuán)動位置重複的一致性誤差較大,清(qīng)洗(xǐ)維護頻繁。
根據現有比較片結構在使用過程中暴露(lù)出的問題,對原有通用鍍膜機比較片結構進行多次的改進,通過設計可重疊放置比較(jiào)片(piàn)存(cún)儲筒(tǒng),使比較片機構直徑(jìng)所占麵積減小,但放置的比較片數量增加(jiā)到20 片左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜盤上裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高薄膜監(jiān)控的精度,並降低對硬件係(xì)統的要求,容(róng)易實現對係統的自動控製(zhì)。
具體動作實施,改進後多片比較片機構的轉動,通過連(lián)接板23 和連接塊21 固定(dìng)在真空室頂板上(shàng),比(bǐ)較片機構的旋轉運動,由旋轉密封軸把運動(dòng)輸(shū)入真空室內的大齒輪(lún),帶動小齒輪所在傳動軸24 的轉動(dòng),最終實現(xiàn)整個比較片機構的轉動。比較片(piàn)切換比較片(piàn)時,通(tōng)過撥盤29 轉動一個工(gōng)位,比較片存儲筒(tǒng)219 內落下一個(gè)比較片,到達預設(shè)的位置,同時,切換的比較片隨著工位轉動落(luò)在比較片接受筒212 內,每切換一次,撥動一個工位。其中,傳動(dòng)軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的(de)傳動(dòng)機構來(lái)完成撥盤轉動。
其(qí)特點是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提高裝載鍍製工件的數量;(2) 增加比較片的數量,提高生(shēng)產效率,提高薄膜(mó)監控的精度,降低對硬件(jiàn)係統的要求,係統容易(yì)實現自動控製(zhì)。缺(quē)點:該比較片結構直徑小(xiǎo)而長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛度;由於該結構暴露在高溫濺射磨料的(de)真空室內,影響其轉動平穩性、靈活(huó)性(xìng),且(qiě)轉動位置(zhì)重複的一(yī)致性較差,維護清洗頻繁費(fèi)工。
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