隨著科技的發展，真空鍍膜工藝技術已經在：太陽能集熱管、太（tài）陽能電池、磁帶、光盤、半導（dǎo）體器件、光學器件、光電顯示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬塗層（céng）、汽輪機葉片的抗熱塗層、五金製品、手（shǒu）表（biǎo）、手（shǒu）機和眼鏡的裝飾（shì）、塑料製品（pǐn）金屬化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍膜（mó）設備有（yǒu）多種規格的單室（shì）機和多室連續機。工藝方法上可分為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍、束流沉積鍍以（yǐ）及分子束外延（yán）等。真空鍍膜（mó）設備的運行性能直接影響生（shēng）產工藝（yì）、產品質量和生產，為了使設備的運行性能（néng）正常，必須建立和完善設備的（de）；維護與（yǔ）維修製度、維護內容、維（wéi）修標準等（děng）。

一、維護（hù）與維（wéi）修製度，為（wéi）了使真空鍍膜（mó）設備在維護（hù）、維修及生產過程中出現問題能得到及時收集、傳遞、分析和處理. 而製定的管理製度。

1.有完善的製度（dù）,如設備的使（shǐ）用操作規程。維（wéi）修人員在維修時應（yīng）掛放“正在維修”牌，並切斷電源以防（fáng）他人（rén）使用（yòng）機器設備等.

2.在工廠生產管理中,設備的維護與維修（xiū）是重要（yào）的一方麵。應該有專職的、能（néng）力強的維修人員負（fù）責。

二、設備的維護，維護（hù）可分（fèn）為：日（rì）常維護和定期維護。

1.日常（cháng）維（wéi）護就是在當天生產（chǎn）中發現設備（bèi）有不良跡象，就馬上解決（jué）。發現（xiàn）機械泵的油少了就要添加，不要認為這油是定期更換的，等到了（le）時間在維護，可能泵的（de）轉子就會（huì）磨損嚴重（chóng）了。再比如工件轉架的軸承有些卡，就（jiù）要更換軸承，而等到它徹底的壞了（le）再換，問題（tí）可就大了，可能（néng）引起轉架電機燒毀等（děng）。

2.定期維護，有人會問有了日常維護還有（yǒu）必要定期維護（hù）嗎（ma）？其實每一種設備都有自己使用（yòng）壽命，比如擴散泵用的矽油使用壽命為2年左右，我就（jiù）規定1年半就把它換（huàn）掉（diào），這樣做是不是浪費，我覺（jiào）的不浪費，從設備服務於生產來說是值得的，老板最不希望看（kàn）到（dào）的是機器在生產階（jiē）段出現（xiàn）問題。隻要你把日常維護和定期維護做好了，在延長設備壽命的同時（shí），生（shēng）產過程中出現故障的幾率也大大降低，生產效率也提高了。

三、設備維修：說到維修很多人都頭疼的是真（zhēn）空部分的漏氣，真（zhēn）空（kōng）部分（fèn）出了問題比較麻煩，再（zài）加（jiā）上很多公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。真空抽不上去原因可能有以下幾點：

1.也許（xǔ）是漏率偏高就是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組（zǔ）的抽氣能力不夠了，油（yóu）被汙染或氧化了（le）；

3.也許是真空室內（nèi）太髒放氣。

或者是這幾種可能都有。出（chū）現問題，首先是要判斷，是不是拆裝過東西？會不會漏水？閥（fá）門打開了嗎？根據（jù）現象判斷原因，然後（hòu）再去根據判斷找問題，可能會收（shōu）到（dào）事半功倍的效果。有次我們清洗弧蒸發源，清洗完（wán）裝上一試（shì）抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發源漏氣（qì），後來經過（guò）檢查是弧蒸發（fā）源的一個密（mì）封圈本（běn）來（lái）是要更換的，在裝配時認為（wéi）還可以就沒（méi）有更換，結果就造成了漏氣。