物理蒸鍍就是把物（wù）質加（jiā）熱揮發，然後將其蒸氣沉（chén）積在預定的基材上。由於蒸發（fā）源須加熱揮發，又是在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分為三個步驟: 

(1)凝態的物質（zhì）被加熱揮發成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距（jù）離至基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝（níng）結成（chéng）薄膜